Máy dò rò rỉ khí Heli Pfeiffer ASM 390
Máy dò rò rỉ di động hiệu suất cao Pfeiffer ASM 390 cung cấp hiệu suất cao, độ tin cậy và vận hành dễ dàng. ASM 390 là máy dò rò rỉ di động được tối ưu hóa để bơm nhanh và thời gian phản hồi ngắn trên các vật thể thử nghiệm lớn. Nó kết hợp một máy bơm dự phòng không ma sát khô với một máy bơm chân không cao mạnh mẽ trong một thiết kế mỏng có thể được sử dụng trong chế độ thử nghiệm chân không hoặc đánh hơi. Tỷ lệ rò rỉ phát hiện tối thiểu đối với heli là 1 · 10-8 ở chế độ đánh hơi và 1 · 10-12 ở chế độ chân không.
ASM 390 có một máy bơm chân không cao mạnh mẽ với công suất dự phòng 35 m3/h. ASM 390 có bảng điều khiển hiển thị màu với chế độ xem 360°: có thể tháo rời và có thể định vị để thuận tiện cho người dùng và khả năng sử dụng bằng các kẹp từ tính. Thiết bị phát hiện rò rỉ heli di động này lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi độ nhạy thử nghiệm tối đa.
Tính năng của máy dò rò di động hiệu suất cao Pfeiffer ASM 390
- Hiệu suất, độ nhạy và tính di động
- Khả năng tạo nhám cao bằng bơm ACP sạch, không có hạt
- Tương thích với phòng sạch
- Nhỏ gọn, chiếm ít diện tích
- Tương thích với Semi S2
- Màn hình cảm ứng màu có thể xem 360°
- Tỷ lệ rò rỉ phát hiện tối thiểu 1 · 10-8 ở chế độ đánh hơi
- Tỷ lệ rò rỉ phát hiện tối thiểu 1 · 10-12 ở chế độ chân không
- Thiết kế chắc chắn, có thể xử lý các môi trường khắc nghiệt
- Một đầu vào ở phía trước để dễ dàng kết nối với các cổng thử nghiệm
- Tương thích với điều khiển từ xa không dây RC 500 WL
- Phạm vi giao diện I/O
- Menu trực quan
- Thẻ nhớ SD tích hợp để lưu trữ dữ liệu thử nghiệm
Ứng dụng máy dò rò rỉ heli hiệu suất cao Pfeiffer ASM 390
Phân tích
- Kính hiển vi điện tử
- Phát hiện rò rỉ
- Phổ khối
- Phân tích bề mặt
- Phân tích khí còn lại
Bán dẫn
- PVD (Physical Vapor Lắng đọng)
- CVD (Lắng đọng hơi hóa học)
- Khắc plasma
- Cấy ghép -Nguồn
- Cấy ghép-Đường chùm
- Kiểm tra
- Liên kết
- MBE (Epitaxy chùm phân tử)
- Khóa tải, buồng chuyển, hệ thống xử lý
Lớp phủ
- FPD – Màn hình phẳng
- Quang điện
- Lớp phủ kính (PVD)
- Lớp phủ quang học
- Bảo vệ chống mài mòn (PVD, CVD)
- Lớp phủ web
Ngành công nghiệp
- Phát hiện rò rỉ công nghiệp
- Ngành công nghiệp năng lượng mặt trời
- Điện tử
- Linh kiện chân không
- Sấy chân không
R & D
- Nghiên cứu hạt nhân
- Công nghệ nhiệt hạch
- Nghiên cứu plasma
- Máy gia tốc hạt
- Mô phỏng không gian
- Nghiên cứu nhiệt độ cực thấp
- Vật lý hạt cơ bản
- Công nghệ nano
- Công nghệ y tế
